第18类
光学、照相、电影、计量、检验、医疗或外科用仪器及设备、精密仪器及设备;钟表;乐器;上述物品
第90章
光学、照相、电影、计量、检验、医疗或外科用仪器及设备、精密仪器及设备;上述物品的零件、附件
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本章其他品目未列名的测量或检验仪器、器具及机器;轮廓投影仪
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制造半导体器件(包括集成电路)时检验半导体晶圆、器件(包括集成电路)或检测光掩模及光栅用的光学仪器及器具
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制造半导体器件(包括集成电路)时检验半导体晶圆、器件(包括集成电路)或检测光掩模及光栅用的光学仪器及器具